要確保高可靠性，就要盡量去掉容易導致故障的機械部分。比如，富士電機就在上述振動傳感器中采用了單晶硅MEMS（微電子機械系統）。如果能夠實現高可靠性，就能與激烈的價格競爭保持距離。2013年1月進軍日本市場的被動元件廠商——德國Wurth Electronics就不區分“消

圖9 制造工序大幅減少
將制造工序中需要的曝光掩模減至三塊的Wacoh加速度與角速度傳感器試制品。成本可比原產品大幅降低。（圖片來自Wacoh）（點擊放大）

費”、“工業”及“軍用”等用途，而是以達到軍用水平的可靠性提供所有產品。該公司稱，盡管價格較高，但需要高質量的客戶還是能接受的。該公司的年銷售額為一萬億日元。而且Wurth Electronics未設置最低訂貨量，訂購一個也接單，只要客戶繼續使用就不會停產。

另外，Wurth Electronics還在與半導體廠商等共同開發使用線圈的能量采集系統評測模塊。該公司從這一角度指出，影響系統整體可靠性的是系統設計能力。該公司稱，構成部件當然需要具備可靠性，比如可通過將通過部件的電流產生的負荷減小到適當的水平，在數十年內保持較高的可靠性。

傳感器成本還會下降

另一方面，對于社會性部件來說，盡量降低各個部件的成本非常重要。有的用途需要使用盡可能多的傳感器或致動器，要促使用戶采用，就必須降低每個產品的價格。

為了降低傳感器的成本，構造及材料也在不斷改進?；贛EMS的傳感器除了芯片面積縮小之外，制造工序也在減少。慣性傳感器開發商Wacoh開發出了可用三塊掩模制造的三軸加速度及三軸角速度傳感器（圖9）。而一般需要使用十幾塊掩模。

材料方面，利用聚酰亞胺樹脂等有機材料的研究較多，有望在整合較大面積來發揮傳感作用時降低成本。（記者：三宅 常之，Tech-On?。?